厚度47nm光栅标准样品,三次重复测量结果(无任何减噪修正，原始数据输出）

NanoMap-PS是一款专门为nm级薄膜测量研发的无需防震台即可测量的接触式台阶仪

•    AFM同款位移传感器，超高精度

•    压电陶瓷驱动扫描，绝对无内源振动

•    自集成主动反馈式防震系统

•    真正无需额外辅助防震系统，实现高重复性纳米测量

•   纳米量级科学研究的必备产品
  

NanoMap-PS 台阶仪可以应用在半导体，光伏/太阳能，光电子，化合物半导体，OLED，生物医药，PCB封装等领域的薄膜厚度，台阶高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），划痕深度，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量方面。其高精度，高重复性，自动探索样品表面，自动测量深受广大客户欢迎。

测量表面可以覆盖多种材料表面：金属材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等，对于植物表面，生物材料，聚合物表面，光刻胶等“柔软表面”也可测量无须担心划伤或破坏。设备传感器精度高，稳定性好。热噪声是同类产品最低的。垂直分辨率可达0.1nm 。 可测表面，包括透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料，金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿等；
  

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主要参数 :  

垂直分辨率             0.1nm

垂直最大量程         1000um
探针接触力             0.03mg-100mg

平台范围                 直径150毫米（可选200毫米或更大）
高清图像                  4级放大，彩色CCD
成像光源                  双长寿命强光LED

金刚石探针               0.5um 到 25um 可选

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途