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双束聚焦扫描电镜(FIB-SEM)
日立三维分析聚焦离子束系统
追求理想的三维结构分析通过自动重复使用FIB制备截面和进行SEM观察,采集一系列连续截面图像,并重构特定微区的三维结构。采用最理想的镜筒布局,从先进材料、先进设......
故障分析导航系统
该导航系统可以将CAD数据的布线和大规模集成电路的设计图形和FIB的观察图像相对应起来。当指定CAD系统中的坐标位置,样品台就会通过链接移动到相应位置,就可以获......
高性能FIB-SEM系统
高性能与高灵活性兼备“Ethos”采用日立高新的核心技术--全球领先的高亮度冷场发射电子枪及新研发的电磁复合透镜,不但可以在低加速电压下实现高分辨观察,还可以在......
聚焦离子束(FIB)微型采样系统用于STEM分析
优异的高效分析性能微型采样方法(已在日本和美国取得专利)已在半导体器件分析领域成为一款工具,它正迅速向更小制样方向发展。仅用一小时左右即可获得一个微小样品,以便......
日立高新NX9000高精度实时三维分析
追求理想的三维结构分析通过自动重复使用FIB制备截面和进行SEM观察,采集一系列连续截面图像,并重构特定微区的三维结构。采用最理想的镜筒布局,从先进材料、先进设......
日立双束(三束)聚焦离子束系统NX2000
追求最完美的TEM样品制备工具在尖端设备及高性能纳米材料的评价和分析领域,FIB-SEM已成为不可或缺的工具。近来,目标观察物更趋微细化;更薄,更低损伤样品的制......
高性能聚焦离子束系统
MI4050是具有以下特征的高性能聚焦离子束系统:新型电子光学系统,可达到世界最高水准的SIM像分辨率・大束流使加工速度得以提升・提高了低加速电压的分辨率,使得......
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