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超高分辨扫描电镜SU9000减速功能及其应用

发布时间: 2016-11-18 15:17 来源:日立高新技术公司

      

       日立SU9000超高分辨冷场发射扫描电镜,达到扫描电镜世界最高二次电子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。日立SU9000采取了全新改进的真空系统和电子光学系统,不仅分辨率性能明显提升,而且作为一款冷场发射扫描电镜甚至不需要传统意义上的Flashing操作,可以高效率的快速获取样品超高分辨扫描电镜图像。

 

特点:

  1. 1.新型电子光学系统设计达到扫描电镜世界最高分辨率:二次电子0.4nm(30KV),STEM 0.34nm(30KV)。

  1. 2.Hitachi专利设计的E×B系统,可以自由控制SE和BSE检测信号。

  2. 3.全新真空技术设计使得SU9000冷场发射电子束具有超稳定和高亮度特点。

  3. 4.全新物镜设计显著提高低加速电压条件下的图像分辨率。

  4. 5.STEM的明场像能够调整信号检测角度,明场像、暗场像和二次电子图像可以同时显示并拍摄照片。

  5. 6.与FIB兼容的侧插样品杆提高更换样品效率和高倍率图像观察效率。

 

减速功能特点如下:

 

 

 

 

 

 


该产品更多信息请关注: http://ibook.antpedia.com/762/p/13578-p.html

 

关于日立高新技术公司:

日立高新技术公司,于2013年1月,融合了X射线和热分析等核心技术,成立了日立高新技术科学。以“光”“电子线”“X射线”“热”分析为核心技术,精工电子将本公司的全部股份转让给了株式会社日立高新,因此公司变为日立高新的子公司,同时公司名称变更为株式会社日立高新技术科学,扩大了科学计测仪器领域的解决方案。日立高新技术集团产品涵盖半导体制造、生命科学、电子零配件、液晶制造及工业电子材料,产品线更丰富的日立高新技术集团,将继续引领科学领域的核心技术。更多信息敬请关注日立高新官方网站:http://www.hitachi-hightech.com/cn/

 

 

标签:SU9000,日立,扫描电镜,高分辨
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