FBAR用AlN薄膜测试系统

 

 

aixDBLI晶圆双光束激光干涉仪是针对于1-8英寸晶圆上的MEMS器件的铁电压电性能测试，用的是双光束激光干涉仪的方法非接触式测试。

分辨率：≤1pm（X晶向的石英）

测量范围：5pm to +/-25nm

 

aixDBLI的主要构成和功能有：

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仕嘉科技(START SCIENCE)是德国aixACCT公司在中国的独家代理，提供全面售前售后服务。仕嘉科技专门致力于把先进的科学仪器引进到国内科研及工业领域，代理诸多世界一流的分析测试仪器与制备设备，为广大用户提供专业化的技术咨询及售后服务。