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金属有机化学气相沉积系统(MOCVD)

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仪器简介：
仕嘉科技为您提供先进的进口金属氧化物化学汽相沉积（MOCVD）解决方案，用于薄膜沉积。主要产品包括台式研发型、中试型和生产型。这些产品拥有许多先进的专利技术，如AIPCS、ICCS等。可以适用的对象包括：1，钙钛矿氧化物如PZT、SBT、CeMnO2等；2，光电薄膜如ZnO等透明导电氧化物、LiNbO3（如用于声表面波器件）、用于制造TFT的ZnO；3，MEMS薄膜；4，薄膜电池；5，三五族化合物如GaN、GaAs系列；6，氧化锌纳米线；7，室温铁电红外探测器材料；8，用于蓝光LED的ZnO, p-ZnO and n-ZnO 薄膜；9，YBCO 高温超导带；10，锑化物薄膜。

技术参数：
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主要特点：
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