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柜谷科技发展（上海）有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | YSP63FA |
| 品牌： | 雅马拓 | 产地： | 日本 |
| 关注度： | 884 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 价格范围 | 20万-30万 |
| 设备尺寸 | W1860×D1100×H1800mm |
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可进行样品传输系统定制
● 操作快捷方便：放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒。
● 软性基板也可以进行传送操作。
● 传送速度可在Hi-Low间调节。
● 可通过网络进行远程操作（选购品）。
规格
型号 | YSP63FA |
模式 | RIE（DP模式选购） |
高频输功率 | 600W |
反应台尺寸 | W385×D362mm |
内腔尺寸 | W395×D378×H45mm（内尺寸） |
反应气体 | 2进气系统（氧气、氩气） |
反应气体流量控制 | 质量流量控制器 |
真空泵 | 旋转式真空泵（约500L/min） |
气体导入口 | 反应气体2个、填充气体1个、空气1个 |
外形尺寸 | W1860×D1100×H1800mm |
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
