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匀胶机,旋涂仪

参考报价: 面议 型号: SP-6
品牌: Ecopia 产地: 韩国
关注度: 36 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
供应商性质生产商产地类别进口
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匀胶机,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机,英文叫Spin Coater或者Spin Processor。总的来说,他们原理都是一样的,既在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。

        匀胶机适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺, 可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。匀胶机可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蚀中也被广泛使用。

        由我司提供的匀胶机,在高校、研究所及半导体产业享有很高的声誉,相信能满足您多种不同应用要求。


产地:韩国ECOPIA公司

型号:SP-6


技术规格:

1. 旋转衬底最大尺寸:四英寸、六英寸、八英寸、十二英寸等;

2. 按客户需求提供整体解决方案,可以旋涂最小3mm, 最大1000mm衬底;

3. 从手动到全自动溶质分配的选择范围宽大;

4. 无振动转速最高5000RPM;

5. 真空吸附,无污染;

6. 台式匀胶机,占用空间小;

7. 具备耐化学性的无缝聚丙烯外罩,并且匀胶机主机易清洗;

8. 聚四氟乙烯(PTFE)的匀胶机可用于强腐蚀性化学材料;

9. 液晶显示屏人机界面,甚至带着手套都可以方便使用;

10.可以准确重复运行程序的数字程序控制系统;

11. 高度灵活的多重可编程步骤组成复合程序;

12. BLDC马达,高稳定性,无热量散发(优于DC马达);


应用范围:

可用于光刻胶(PR),聚酰亚胺(Polyimide),金属有机物(Metallo-organics),搀杂剂(Dopant),硅薄膜(Silica Film),以及大多数的有机溶液、水溶液;


匀胶机,旋涂仪信息由上海载德半导体技术有限公司为您提供,如您想了解更多关于匀胶机,旋涂仪报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。

注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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