技术规格：

1. 面电阻量测范围： 1 mΩ/sq. to 2 MΩ/sq.(或更高)

2. 样品尺寸：支持10mm至300mm wafer

3. 量测系统包括：Jandel RM3000测试单元

4. 测试精度：0.05% at 23℃

5. 温度可变范围：-100℃ ~ 200℃

6. 软件操作简单可以支持with Windows XP, Windows 7 或Windows 8操作系统，USB2.0 或USB3.0接口

7. 可选择量测晶圆上1, 5, 9, 25, 49, or 121个测试点或者自定义量测图

8. 可绘制2D和3D数据结果图

9. 输出电阻，电阻率和厚度等量测结果

10. 系统支持JANDEL探测头，插入式更换，操作简单

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途