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RTP-100-RP快速退火炉(中温/低价位)

参考报价: ¥10万-30万 RMB(人民币) 型号: RTP-100-RP
品牌: 尤尼坦 产地: 德国
关注度: 50 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?

快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。

RSO-200快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用,适用于样品尺寸大、但是退火温度不太高的样品。


仪器特点:

- 最高工艺温度:650摄氏度;

- 加热区域:200mm x 170mm;

- 高性价比;


参考用户:

中电13所等。


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