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真空快速退火炉 (RTP)

参考报价: ¥30万-50万 RMB(人民币) 型号: RTP-100
品牌: 尤尼坦 产地: 德国
关注度: 270 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?

RTP-100/150快速退火炉为德国优尼坦公司生产,分为RTP-100, RTP-150, RSO-200,VPO-300共四个型号,分别对应4英寸、6英寸、8英寸、12英寸的真空快速退火炉产品。


技术规格:

- 最高温度:1200摄氏度;

- 升温速率:150摄氏度/秒;

- 降温速度:200摄氏度/分钟 (1000摄氏度-->400摄氏度);

- 温控均匀性:≤ 1.5%设定温度;

- 加热方式:红外卤素灯,顶部及底部加热;

- 灯管数量及功率:18支/20千瓦(RTP-100),24支/21千瓦(RTP-150);

- 腔体冷却:水冷方式;

- 衬底冷却:氮气吹扫;

- 工艺气路:MFC控制,最多4路 (氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等);

- 主机尺寸及重量:505mm x 504mm x 420mm (W x D x H),约55Kg;

 

仪器特点:

- 真空快速退火炉,有低真空型号(10-3 hPa)、高真空型号(10-6 hPa);

- 可在不同气氛环境下使用,如惰性气体、氧气、氢氮混合气等;

- 控制方式:SIMATIC, SPS人机界面控制,7英寸触摸屏;

- 可存储50个程序,每个程序最多分为50段控制;

- 全自动智能控制,包括温度、时间、气体流量、真空度、循环水均可自动设置;

- 优异的温控均匀性,极佳的工艺重现性;

- 小尺寸台式设计;

 

应用领域:

- 离子注入/接触退火;

- 快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);

- 可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用;

- SiAu, SiAl, SiMo合金化;

- 低介电材料;

- 晶体化,致密化;

- 太阳能电池片键合;

等等...


参考客户:

西安交通大学、西安电子科技大学、中国科技大学、江汉大学、中科院上海技术物理所、中科院苏州纳米所、北京航天仪器研究所、京东方、武汉光迅、能华微电子等。

 


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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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