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RTP-1300四英寸快速退火炉(RTP)

参考报价: 面议 型号: RTP-1300
品牌: Ecopia 产地: 韩国
关注度: 24 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?

品牌:Ecopia Corp.

型号:RTP-1300,RTP-1600;


RTP-1300, RTP-1600为Ecopia进口真空快速退火炉,仪器带有控制软件,为台式设计。

RT-1300可以退火100mmX100mm尺寸的样品,RTP-1600可以退火150mmX150mm尺寸的样品。


技术规格:

- 加热方式:红外卤素钨灯,1.2KW/支;
- 卤素红外灯数量:12支,或18支;

- 最快升温速率:100℃/秒;

- 最快降温速率:60秒(1000℃ → 400℃);

- 最高温度:1200℃;

- 温度精度:+/-1℃

- 最大样品尺寸:100 X 100mm, 或150mm X 150mm;

- 退火环境:真空、惰性气体、空气、其他工艺气氛(如氧气、氢气等);

- 真空泵及极限压力:机械泵,10-3Torr水平(选配);

- 电压:220 V,单相或三相;

- 仪器尺寸:500 X 400 X 500mm (W X D X H);

- 质量:净重60Kg;

仪器特点:

- 可在真空/不同气氛/空气不同环境下,对样品进行快速热处理;

- 温控精度高;

- 适合高校或研究所科研使用;

- 带有RTP控制软件;

- 紧凑的台式设计;

- 仪器操作方便,样片装取容易;

- 价格合理,高性价比;

应用领域:

- 快速热退火 (Rapid Thermal Annealing,RTA);

- 快速热氧化 (Rapid Thermal Oxidation,RTO);

- 快速热氮化 (Rapid Thermal Nitridation,RTN);

- 硅化 (Silicidation);

- 扩散 (Diffusion);

- 化合物半导体退火 (Compound Semiconductor Annealing);

- 离子注入后退火 (Implant Annealing);

- 电极合金化 (Contact Alloying);

- 晶化和致密化 (Crystallization and Densification);

- 合金熔点分析;

- 薄膜沉积;

等等…

RTP-1300快速退火炉参考用户:

北京师范大学、北京理工大学、昆明理工大学、中国科大、东南大学、西安交通大学、陕西师大、渤海大学、中科院苏州纳米所、国电光伏、苏州新磊等...


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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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