NMC-3000等离子辅助MOCVD

NMC-3000等离子辅助MOCVD概述：NANO-MASTER针对InGaN及AlGaN沉积工艺所研发的台式等离子辅助金属有机化学气相沉积系统(PA-MOCVD),该系统具有5个鼓泡装置(各带独立的冷却槽)、加热的气体管路、950度样品台三个气体环、淋浴式气体分布的RF射频等离子源以及工艺终端的N2冲洗、250l/sec涡轮分子泵及无油真空泵(5 x 10^-7Torr极限真空)、PC全自动控制，完全的安全互锁。

目前，这项技术延伸到5个4"晶圆的立柜式独立批处理系统，该系统可以集成到集群配置中以满足高产量的要求。

NMC-3000等离子辅助MOCVD应用：Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)

NMC-3000等离子辅助MOCVD系统特点：

·         台式系统

·         5个带独立冷却槽的起泡器

·         加热的气体管路

·         950 °C样品台，2”晶圆片

·         3个气体环

·         RF等离子源，带淋浴头气体分布

·         工艺完成后N2自动冲洗

·         极限真空5x10^-7Torr

·         260 l/s的涡轮分子泵串接无油干泵

·         通过LabView软件实现PC计算机全自动控制

·         菜单驱动，4级密码访问控制

·         完整的安全联锁

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途