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- NANO-MASTER的微波PECVD系统产品顺利应用于中科院深圳先进技术研究院，该系统即将配套远程微波等离子源，带直流偏压，支持高达900度的样品台加热，提供精确的控温，该系统可以支持石墨烯和CNT碳纳米管阵列。 根据客户要求，配套的远程微波源将真正实现对所沉积薄膜的无损伤。...... [全文]