美国SONIX超声波显微镜 ECHO LS™

产品特点
SONIX Echo-LS 能检测到小至 0.05um 的缺陷，而且对于 bump、叠 die(3D 封装)、倒装芯片及各种传统的塑料封装等具有卓越的检测性能。提高生产效率和产量，使用 ECHO 的设备和软件

• 容易的设置和使用

• 工艺过程监测

• 合格/失效分选

• 专业认证

SONIX 扫描探头频率范围从 10MHz 到 300MHz,适合各种类型的应用和材料。

其它关键特点：

• 减少实验室空间（占地面积小）

• 键盘快捷键（方便移动操作）

• 全焊接机身框架（促进平台稳定性）

• 降低水槽高度（人体工程学设计）

• 可同时进行反射扫描和透射扫描

• 最大 360 度可视

• 超大扫描面积

• 水槽底部倾斜（易于排干水）

• 探头随 Z 轴移动（取代托盘上下移动）

• 可滑动支架

• 符合欧洲机械指令

• 紧凑、稳定的结构设计（低维护）

• 符合 CE,SEMI S2,NRTL

• 可滑动的电气面板（方便维护）

• 防静电涂层（安全罩、水槽、门等）

规格参数：

扫描轴（X 轴）：

• 定位装置： 线性伺服马达

• 最大速度：1000mm/sec

• 重复精度：+/-0.5um

• 编码器分辨率：0.5um

• 最大扫描区域：350mm

步进轴（Y 轴）：

• 定位装置：低电磁干扰导轨式步进马达

• 分辨率：0.25um

• 最大扫描区域：350mm

聚焦轴（Z 轴）：

• 定位装置：低电磁干扰导轨式步进马达

• 分辨率：0.25um

• 最大行程：50mm

夹具：

• JEDEC 标准尺寸托盘夹具

• 扫描平台可固定特有的托盘夹具

• 透射杆探头固定

机台尺寸：

• W31”xD31”xH48’’(约长 79cm*宽 79cm*高 122cm)

流体系统：

• 循环泵和 5um 过滤器

超声波仪器

• DPR500 接收器 配置 L2/H4 脉冲发生器

• 可选 U4 超高频脉冲发生器

其它：

• 带脚轮的摆放桌

• 紧急开关和安全锁

• 较低的取放样品区域

其它特色软件功能选项

• TAMI  SCAN: 一次扫描得到最多 200 张断层图像

• ICEBERG: 强大的离线分析技术

• WinIC Pro: 增加功能和分析

• WinIC Offiline：远程分析

• Waveform Simulator/Beam Emulator ：波形仿真器

 
ECHO 机台面板与 WinIC 软件的组合，给用户提供一个强大、简易使用的分析工具。WinIC 软件是 Sonix 公司独家研发的超声波扫描显示镜成像软件，提供先进的图像分析功能以帮助定量和定性分析图像数据。WinIC 使用大量的图形和屏幕指导帮助所有用户，从入门到精通。
 

SONIX 软件 -  应用于塑封FlipChip和Stacked Die产品的成像功能

美国SONIX超声波显微镜 ECHO LS™信息由似空科学仪器（上海）有限公司为您提供，如您想了解更多关于美国SONIX超声波显微镜 ECHO LS™报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途