ATGX310系列_光学薄膜厚度测量仪奥谱天成

ATGX310系列光学薄膜厚度测量仪产品概述

光学薄膜厚度测量系统利用薄膜反射光干涉的原理，进行薄膜厚度测量及分析。

适合测量半导体、LCD、TFT、PDP、LED、触摸屏、汽车车灯、医学、太阳能、聚合物薄膜、眼镜等光学元件的膜厚测量。

工作原理光学薄膜厚度测量系统，是利用薄膜反射光干涉的原理，对薄膜进行厚度测量及分析。它利用波长范围最宽为200-1700nm的光垂直入射到薄膜表面，只要薄膜有一定程度的透射，ATGX310就能根据反射回来的干涉光谱拟合计算出薄膜的厚度，最大测量范围可以达到10nm~250um

可以同时完成多达3层膜厚的测试。

核心部件使用ATP3010P高分辨率、高灵敏度光谱仪，多达4096像素元的CCD阵列，为测量结果的准确性提供了可靠的保证。

产品特点

不再需要耗时的基准校正，不再浪费更多的时间预热光源。ATGX310连接到计算机的USB端口，具有4000小时的光源，及内建光谱校准意味着几乎没有维护成本，更意谓着量测精确。

独特的暗箱室结构，可以让您在任何光亮环境中准确测量。

规格及参数

光学系统标准氘卤组合灯光源准直照明，积分球接收接收器：微型光纤光谱仪波长范围：200-1100

测量范围：0-100%

技术参数

波长准确度±0.5nm

波长重复性≤0.2nm

光谱带宽 1nm

杂散光≤0.05%

透射比准确度±0.5%

透射比重复性 ≤0.5%

应用范围

眼镜、太阳镜、防嗮保护膜各种光学元件、滤光片等平面玻璃、塑料制品手机显示屏、液晶屏其他透明或半透明材料实验搭建基于微型光纤光谱仪（ATP3010P）、R3测量支架（R3）、氘卤灯光源（ATG1020）、光纤准直镜（FIBH-2-UV）以及紫外光纤（FIB-600-UV）搭建的光学镀膜厚度测量系统。

ATGX310规格参数表

型号 | 波长范围 | 厚度范围 | 厚度分辨率 | 重复性 | 入射角 | 膜厚层数

ATGX310-VIS | 400-850nm | 50nm-20um | 0.1nm | 0.3nm | 90度 | 至多10层

ATGX310-XR | 250-1060nm | 10nm-100um | 0.1nm | 0.3nm | 90度 | 至多10层

ATGX310-DUV | 190-1100nm | 1nm-100um | 0.1nm | 0.3nm | 90度 | 至多10层

ATGX310-NIR | 900-1700nm | 100nm-250um | 0.1nm | 1.0nm | 90度 | 至多10层

样品材料 | 透明或半透明薄膜

测量模式 | 反射和透射

粗糙膜厚测量 | 可以

测量速度 | 最短1ms

是否能在线 | 能

光斑尺寸 | 标准：200um或400um 定制：100um

显微镜搭配 | 可以

CCD成像 | 可以

扫描选择 | 150mmX300mm

xy扫描平台 | 有

真空兼容 | 是

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途