ATGX310涂镀层及薄膜测厚仪奥谱天成

ATGX310系列光学薄膜厚度测量仪产品概述
光学薄膜厚度测量系统，利用薄膜反射光干涉的原理，对薄膜进行厚度测量及分析。适用于测量半导体、LCD、TFT、PDP、LED、触摸屏、汽车车灯、医学、太阳能、聚合物薄膜、眼镜等光学元件的膜厚测量。
工作原理
光学薄膜厚度测量系统，利用薄膜反射光干涉的原理，对薄膜进行厚度测量及分析。利用波长范围最宽为200-1700nm的光垂直入射到薄膜表面，只要薄膜有一定程度的透射，ATGX310就能根据反射回来的干涉光谱拟合计算出薄膜的厚度。最大测量范围可以达到10nm~250um，可以同时完成多达3层膜厚的测试。核心部件使用ATP3010P高分辨率、高灵敏度光谱仪，多达4096像素元的CCD阵列，为测量结果的准确性提供了可靠的保证。
产品特点
没有更多耗时的基准校正，不再浪费更多的时间预热光源，您仅需将ATGX310连接到计算机的USB端口，4000小时的光源，及内建光谱校准意味着几乎没有维护成本，更意谓着量测精确。独特的暗箱室结构，可以让您在任何光亮环境中准确测量。
规格及参数
光学系统
标准氘卤组合灯光源
准直照明
积分球接收
接收器：微型光纤光谱仪
波长范围：200-1100
测量范围：0-100%
技术参数
波长准确度±0.5nm
波长重复性≤0.2nm
光谱带宽 1nm
杂散光≤0.05%
透射比准确度±0.5%
透射比重复性≤0.5%
应用范围
眼镜、太阳镜、防晒保护膜、各种光学元件、滤光片等平面玻璃、塑料制品、手机显示屏、液晶屏、其他透明或半透明材料实验搭建基于微型光纤光谱仪（ATP3010P）、R3测量支架（R3）、氘卤灯光源（ATG1020）、光纤准直镜（FIBH-2-UV）以及紫外光纤（FIB-600-UV）搭建的光学镀膜厚度测量系统。
ATGX310规格参数表
型号 ATGX310-VIS ATGX310-XR ATGX310-DUV ATGX310-NIR
测量波长范围 400-850nm 250-1060nm 190-1100nm 900-1700nm
厚度范围 50nm-20um 10nm-100um 1nm-100um 100nm-250um
厚度分辨率 0.1nm 0.1nm 0.1nm 0.1nm
重复性 0.3nm 0.3nm 0.3nm 1.0nm
入射角 90度 90度 90度 90度
膜厚层数 至多10层 至多10层 至多10层 至多10层
样品材料 透明或半透明薄膜 透明或半透明薄膜 透明或半透明薄膜 透明或半透明薄膜
测量模式 反射和透射 反射和透射 反射和透射 反射和透射
粗糙膜厚测量 可以 可以 可以 可以
测量速度 最短1ms 最短1ms 最短1ms 最短1ms
是否能在线 能 能 能 能
光斑尺寸 标准：200um或400um 标准：200um或400um 标准：200um或400um 标准：200um或400um 定制：100um 定制：100um 定制：100um 定制：100um
显微镜搭配 可以 可以 可以 可以
CCD成像 可以 可以 可以 可以
扫描选择 150mmX300mm 150mmX300mm 150mmX300mm 150mmX300mm
xy扫描平台 xy扫描平台 xy扫描平台 xy扫描平台 xy扫描平台
真空兼容 是 是 是 是

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途