浅谈光纤光谱仪的应用领域

　　光纤光谱仪具有检测精度高、速度快等优点，已广泛应用于农业、生物、化学、地质、食品安全、色度计算、环境检测、医药卫生、LED检测、半导体工业、石油化工等领域。

　　一、发射光谱测量

　　发射光谱测量可以通过不同的实验布局和波长范围，以及余弦校正器或积分球来实现。发射光谱可以在UV/可见和可见/近红外波段进行测量。

　　为了测量发射光谱，该光谱仪可配置在200-400nm或350≤1100 nm波长范围内，或组合成UV/Visible200-1100 nm。校准后的实验布局不能改变，如光纤和均衡器等。

　　二、LED测量

　　测量整个LED光通量的简单、较快的方法是使用一个积分球体，并将其连接到光谱仪上。该系统可以利用卤素灯进行校准(LS-1-CAL-int)，然后利用相关软件根据测量到的光谱分布计算相关参数，实现辐射测量。用μW/cm2/nm可以计算、显示和存储被测光源的光谱发光强度。另一个窗口还可以显示大约10个参数：辐射μW≤cm2、μJ≤cm2、μW或μJ；发光通量lux或腔、色轴X、Y、Z、y、y、u、v和色温。

　　三、薄膜厚度测量

　　光学薄膜厚度测量系统基于白光干涉测量原理，薄膜厚度可测量10 nm-50μm，分辨率为1nm。薄膜测量通常用于半导体晶片的生长过程，因为需要监测等离子体刻蚀和沉积过程；在金属和玻璃衬底上镀透明光学薄膜等其他应用也需要测量薄膜的厚度。