技术参数：

版面有限，更多资料备索，请拨010-59604011/12

或登陆 http://www.agile-hk.com.cn/agile-hk_ChiClass_2092112_1.html

日本YAMATO等离子清洗机、等离子灰化机、等离子蚀刻机
　　
PDC200/210型等离子清洗机

【简　介】
本产品是用等离子来进行表面处理的专业装置。
桌台式、具有高性能、力求操作简便、快捷、可显示数据。广泛应用于以电子材料为中心的各个行业中。

【用 途】
●　用于CSP/BGA/COB基板的等离子处理
●　消除有机膜、金属酸化膜
●　用于印刷电路板的干式清洗
●　界面活性处理

【特 征】
●　RIE／DP模式
●　采用的电极构造可使等离子分布均匀　　　　　　　　　　　　　　　　　
●　便于操作的触摸屏

【规　格】
型号：PDC 200 / 210

等离子的发生模式：附带RIE/DP切换器

电极构造：平行平板（电极固定）

高频输出：极值 300W / 500W

振荡频率：13.56MHz 石英晶体发振

控制/显示：液晶触摸屏

内槽尺寸：宽400×深250×高150mm

载物台尺寸（有效）：宽250×深170mm

内槽材料：铝材

反应气体：2系统（氩气、氧气）

清洗气体：氮气或干性气体

反应气体的流量控制：流量计/流量控制器

真空泵：旋转式真空泵（约345L/分）

气体输入口：反应气体用2个、清洗用1个

外形尺寸：宽540×深600×高600mm

电源：AC单相100V(50/60Hz)15A / AC三相200V(50/60Hz)15A




德国等离子清洗机

此离子清洗机可用于清洁、刻蚀、磨砂和表面准备等。可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器，以适应不同的清洁效率和清洁效果需要。

小型等离子清洗刻蚀机具有成本低廉、操作灵活的特点，主要适合于大学、科研机构高科技生产单位等场合：

· 半导体开发

· 集成电路开发

· 真空电子行业

· TEM、SEM样品及支架清洁

· 生命科学实验

与动辄十几万美元的大型产品相比GALA等离子清洁、刻蚀机具有以下优点

1、可以更灵活地操作，简便地改变处理气体的种类和处理程序。

2、不会对科研人员的身体造成任何伤害。

3、其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。

此等离子设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。

其具体应用包括：

1、塑料、玻璃和陶瓷表面活化

玻璃、陶瓷和塑料（如聚丙烯、PTFE等）基本上是没有极性的，因此这些材料在进行粘合、油漆和涂覆之前要进行表面活化处理。

2、金属去油及清洁

金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。

焊接操作前：通常印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。

键合操作前：好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洁。

3、等离子刻蚀

特 点：

· 操作简便、成本低廉

· 处理舱 9.5cm x 27 cm和 15cm x 31.5 cm，可以分层方置样品

· 不锈钢处理舱（其他厂家多采用铝制）

· 高效真空电极

· 气体流量通过流量计和针阀实现精确控制

· 手动过程控制

· 功率可在200W以内调节控制（完全能够满足清洁需要，200W以上功率用于刻蚀）

· 自动阻抗匹配

· 自由设置参数：处理时间、功率、气体、压力

· 安全保护功能：真空触发、舱门锁



FEMTO型等离子清洗机

* 反应舱10cm x 27 cm, 水平 (2 升)

* 不锈钢反应舱体

* 40KHz射频发生器

* 高效针孔电极

* 铜气体管、气体流量计、 针阀

* 使用气体流量计和针阀控制气体

* 自动计时器控制等离子处理过程

* 半自动控制

* 功率0-100W

* 自动阻抗匹配

* 自由设置参数：处理时间、功率、气体、压力

* 安全保护功能：真空触发、舱门锁

* 电磁阀保护，回流油雾不能进入反应舱

* 规格：35 cm（W）×25 cm(H)× 60 cm(D) 重量 20 kg （不含真空泵）

* 电源 230V/50Hz; 110V/60Hz

选装件

DUO 5 2级真空泵 5m3/h, 3x10-2 mbar （普通油）

稳流调节阀 采用氧气和普通真空油时

油雾过滤器 EMF10

化学回旋器 缓和泵送气体

化学回旋器用活性炭



PICO型等离子清洗机
* 反应舱 15cm x 32 cm, 水平 (5 升)
* 不锈钢反应舱体
* 40KHz射频发生器
* 高效针孔电极
* 数字计时器可自动设定操作程序
* 皮拉尼真空泵可设定重复操作
* 铜气体管、气体流量计、针阀
* 使用气体流量计和针阀控制气体
* 自动计时器控制等离子处理过程
* 半自动控制
* 功率可调至200W
* 自动阻抗匹配
* 自由设置参数：处理时间、功率、气体、压力
* 安全保护功能：真空触发、舱门锁
* 电磁阀保护，回流油雾不能进入反应舱
* 规格：60 cm（W）×30 cm(H)× 60 cm(D) 重量 35 kg （不含真空泵）
* 电源 230V/50Hz; 110V/60Hz

选装件
DUO 5 2级真空泵 5m3/h, 3x10-2 mbar 双气体配置：管路、流量计、针阀
13.56 MHz 射频发生器 2.45 GHz 射频发生器
油雾过滤器 EMF10 化学回旋器 缓和泵送气体
化学回旋器用活性炭

等离子清洗机信息由北京安捷来勒科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于等离子清洗机报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途