■ 操作性·功能● 射频13.56Mhz 0-200W高功率机型，发生器自动匹配，无需调节反射波，进一步增加的操作的便捷性。● 标准配备数字式皮拉尼传感器，实时......
■ 操作性·功能● 40Khz 0-50W机型，可以覆盖实验室大部分的清洗、活化工艺。● 标准配备数字式皮拉尼传感器，实时显示真空度，使得控制更为精确。● 标配......
高频等离子表面处理装置■ 操作性·功能● 射频13.56Mhz 0-1000W高功率机型，DP和RIE标配的双模等离子清洗机，可对应更多复杂工艺. ●......
型桌上型高频等离子表面处理装置■ 操作性·功能● 射频13.56Mhz 0-300W高功率机型，发生器自动匹配，无需调节反射波，进一步增加的操作的便捷性。● 标......
高频等离子表面处理装置■ 操作性·功能● 射频13.56Mhz 0-500W高功率机型，发生器自动匹配，无需调节反射波，进一步增加的操作的便捷性。● 标准配备数......
低温等离子·经典桶型。PR500：手动控制 PR510：自动触摸屏控制内槽硅晶圆灰化状态低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作（PR51......
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