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分析测试百科网 > 雅马拓 > 等离子体表面处理仪 > 日本YAMATO等离子清洗机PR200

日本YAMATO等离子清洗机PR200

参考报价: 200000 RMB(人民币) 型号: PR200
品牌: 雅马拓 产地: 日本
关注度: 54 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
供应商性质一般经销商产地类别进口
仪器种类等离子体清洗器
设备尺寸 W350×D400×H500mm控制方式 半自动控制
功率 0-200W工作气体 1路
样品腔材质 高硼硅玻璃样品腔容积 φ100×L160mm
射频频率 射频RF13.56Mhz
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操作性·功能

● 射频13.56Mhz 0-200W高功率机型,发生器自动匹配,无需调节反射波,进一步增加的操作的便捷性。

● 标准配备数字式皮拉尼传感器,实时显示真空度,使得控制更为精确。

● 高硼硅玻璃腔体非常适合于实验室处理比较纯净的精元、硅片等样品,无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。

 

■ 安全性·保护

● 装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯,可实时监测和了解机器的运转状态。

● 装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。


■ 产品优势 

●等离子清洗机清洗效果好,清洗过程中无废液产生,安全环保。

●几乎所有的材质样品都可以进行等离子清洗。

●等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。

●高效的特制电极,保证等离子体能够均匀产生。


规格:

型号

PR200

PR301


方式

DP模式、圆柱形腔体



性能

发生器功率:

0-200W

0-300W

发生器频率:

射频RF13.56Mhz



发生器匹配方式:

自动匹配(Auto matching)

手动匹配(manul)

 


构成

腔体材质:

高硼硅玻璃


腔体内尺寸:

φ100×L160mm

φ118×L160mm


反应气体:

一路工艺气体,可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。



控制方式:

半自动控制



真空度显示:

数字式皮拉尼传感器,实时显示腔体内真空度。

模拟式压力表


配管材质:

SUS不锈钢以及特氟龙



门:

                                            铰链门



外形尺寸:

W350×D400×H500mm

W438×D520×H630mm


真空泵抽速:

4m3/hour



电源规格:

                                        AC220V  10A



重量:

  约25kg

   约34kg


附属品


真空管件一套、真空转接接头一套、试料托盘一枚。



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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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