海洋光学椭偏仪

椭偏仪

SpecEL-2000是一款操作便捷的台式光谱椭偏仪，主要用于测量平整和半透明的样品，例如硅晶圆片和玻璃片等薄膜。 

椭圆偏光技术是一种非接触式、非破坏性，以光学技术测量表面薄膜特性的方法。其检测原理是：当一束偏振光经过物体表面或界面时，其偏振极化状态会被改变。而椭偏仪就是通过探测样品表面的反射光，来测量此改变（即反射光和入射光的振幅及相位的改变量），以决定表面特性薄膜的光学常数（n、k值）及膜厚。 

SpecEL-2000测试系统主要包括：宽带光源、高性能线阵CCD光谱仪、导光器件、起偏器、样品测试台、检偏器、光学增强元件及测量分析软件。 

SpecEL-2000适合于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构特性，通常应用于有薄膜存在的地方，其应用包括光学镀膜和保护膜、聚合物、光刻材料、平面平板显示、计算机读写头以及半导体集成电路制造的研究开发。另外，在生物、医学、化学、电化学及材料研究等方面有着广泛的应用。

SpecEL椭偏仪基本性能：

●基本型号：SpecEI-2000-UV/VIS/NIR & SpecEI-2000-VIS/NIR

●光谱范围：290-1050nm (UV/VIS/NR) & 400-1000nm (VIS/NIR)

●测量范围：1nm~10μm

●膜厚分辨率：0.1nm

●测量时间：7~13s

●测量膜层：32层

●光束直径：300×1200μm (Smaller spots available)

●入射角度：700 (other angles available)

●样品调整：高度±1mm；倾斜±10

●测量指标：光学常数(n&k)及膜厚

●快速响应：在线测量

●基底材料：硅晶片和玻璃片等

●数学模型：折射率/谐振子/柯西/塞耳迈耶尔/麦克斯韦-加尼特等数学模型

●应用场合：光学镀膜/保护膜/聚合物/光刻材料/平面平板显示/导体集成电路

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途