PlasCalc等离子体监控系统

PlasCalc等离子体监控系统通过测量等离子体反应腔的发射光谱，实时监测反应腔内的等离子体组分和密度、等离子体温度、电子密度等参数。由等离子体发射光谱的强度值可计算得出等离子组分、颗粒密度及电子密度；由同一电子的能量吸收谱线同另外谱线的对比可计算得出电子温度。测量输出结果，可反馈控制等离子体的发生，从而获得最佳的反应流程和效果。

PlasCalc等离子体监控系统主要包括：高性能线阵CCD光谱仪、传输光纤、接收透镜、过程监控装置及测量分析软件。

PlasCalc应用于测量等离子体镀膜沉积情况，监测等离子浊刻，检查表面清洁处理，分析等离子反应腔控制情况，监测异常污染排放现象，磁控溅射、光学镀膜、终点测量、开发等离子过程的监测和控制优化。

PlasCalc等离子体监控系统基本性能：

●测量范围：测量发射光谱获得等离子体组分/密度/电子温度等参数

●光谱范围：200-1100nm

●探测器：2048像素CCD

●光谱分辨率：1nm

●A/D转换：14位

●通讯方式：USB1.1

●供电方式：直流12V；1.25A

●应用场合：等离子体镀膜沉积/等离子体监测/安全监控/反映过程优化/终点测量

◆PlasCalc等离子体监控系统应用软件

-实时在线监测等离子过程的发射光谱

-监测和控制的双屏幕技术

-8数字量输入/输出；4模拟量输出

-终点、启动、停止及限位的信息音提示

◆备选附件

-SpecLine Software：峰值查找和谱线辨别

-UV & UV-VIS & NIR 传输光纤

-COL-UV-6 & COL-UV-30准值透镜

-VFT真空接管

-PVFT-UVX & PVFT-UVX真空法兰接头

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途