SMS专家级测量系统（共聚焦原理）

用于非接触表面测量分析的三维光电测量系统。按客户要求可选配其它多种光学位移测量传感器，如：自聚焦传感器、白光干涉系统、共焦传感器、触针式传感器、三角测量传感器、色敏传感器。工作站基本配置为精密的大理石桥式测量台和X、Y移动工作台。测量数据的采集是通过BMT专利三维软件包完成的。数据采集速度快、表面轮廓复现度高。光斑轨迹小以及倾斜度大的轮廓，可以对宏观和微观结果进行量化。所有的测量轴都具有纳米分辨率，模块化设计使系统可用于不同的测量任务。软件系统界面直观，操作方便，可以选配电机驱动Z轴来扩大测量范围。

主要用途

◆  任何粗糙、光滑表面检查和测量（可选用不同的传感器）

◆  用于金属片、纸、玻璃塑胶、晶片、刀具等行业

◆  其他表面的微观形貌测量

◆  微型机械元件的尺寸测量

◆  金相测量

◆  微小或较大区域内直线度、平面度、台阶高度、粗糙度的测量计算  

主要特点

◆  非接触测量表面轮廓、反射率、垂直和横向尺寸

◆  测量范围：X、Y方向可达300mm、Z轴可达50mm

◆  横向分辨率优于1μm，Z轴分辨率最高接近1mm（取决于传感器）

◆  可用显微镜和照相机观察表面（选配）

◆  二维/三维粗糙度测量分析、快速傅立叶变换、自相关函数并可测平面度、台阶高度、斜坡

◆  采用宏汇编语言实现自动化测量

主要优势

◆ 快速分析表面结构且结构紧凑

◆ 自动数据采集和评估

◆ 用户搭配的测量系统

◆ 测量范围大

◆ 合理的价格 

技术参数

共聚焦显微镜头

◆ 光源：LED

◆ 寿命（h）：＞50，000

◆ 采用步进电机时的测量范围（mm）：50

◆ 采用压电执行器时的测量范围（μm）：100 / 150

◆ 最高垂直分辨率（nm）：30

◆ 最高横向分辨率（μm）：3

◆ 工作距离（mm）：50

◆ 选件：根据不同的原理配置不同的传感器：三坐标测量，共聚焦，自动聚焦，彩色聚焦；能减振的工作台；用户定制的工件夹具；空气轴承工作台。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途