Fischione 微束定点离子减薄系统 1040

Fischione微束定点离子刻蚀仪

Fischione微束定点离子刻蚀仪（型号：1040）主要用来对半导体集成电路、芯片、器件等样品的刻蚀处理，从而获取该类样品的线路结构，该产品主要由聚焦离子枪及高压电场、配套真空系统、触屏控制系统、配套线缆及气路等等部分组成。

Fischione微束定点离子刻蚀仪（型号：1040）主要技术参数：

1、加工离子能量范围需包括：50eV ~ 2keV；

2、离子束束斑尺寸：≤1μm，可精确定位制备样品；

3、样品台倾转角度：-12度 ~ +30度，连续可调；

4、最大离子束流：≥1mA/cm2。

技术特色：

• 独有聚焦微束惰性气体离子束

• 极低修复电压：50 eV

• 聚焦束斑直径：1μm

• 定位精度高，去除非晶层且不产生再沉积现象

• 采用氩离子束激发二次电子成像同时实现修复及定位

• 离子束可以对准定点位置或在一个选定的区域进行进行精细修复

• 配备液氮冷台，去除热损伤

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途