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深圳市速普仪器有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | Combo100 |
| 品牌： | 深圳市速普仪器有限公司 | 产地： | 广东 |
| 关注度： | 50 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 价格范围 | 10万-30万 |
| 溅射气体 | Ar | 样品台尺寸 | φ50mm |
| 控制方式 | 自动控制 | 样品仓尺寸 | ~100*100*200mm；双腔体 |
| 靶材尺寸 | φ30mm或一英寸 | 靶材材质 | C，Au，Pt等 |
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桌面级SEM扫描电镜用多功能离子溅射仪，特别适用于FE-SEM高分辨扫描电镜样品的喷金以及样品等离子体清洗等多种用途。采用分子泵泵组获得< 9*10-6 Torr本底真空，可以在mTorr气压下实现磁控溅射喷金，获得更为细腻的金膜，以满足FE-SEM高分辨扫描电镜等样品处理。同时具备远程RF 射频离子源实现样品清洗，高效、低等离子体轰击损伤。
核心部件采用国际一流品牌无油分子泵组，静音、无需操心真空系统和操作间环境泵油污染。保证设备具有优异的质量与稳定可靠性。触摸屏界面操作，即插即用。
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
