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NanoFocus三维激光共聚焦显微镜

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参考报价: 面议 型号: μscan
品牌: nanofocus 产地: 德国
关注度: 54 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
价格范围100万-150万
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?

  μscan共聚焦显微镜材料表面的三维轮廓测量,粗糙度测量,宽度,高度,角度,半径、粗糙度等二维、三维数据分析。能直接测量较大面积的样品,而不用通过拼接。


产品介绍 
μscan共聚焦显微镜材料表面的三维轮廓测量,粗糙度测量,宽度,高度,角度,半径、粗糙度等二维、三维数据分析。能直接测量较大面积的样品,而不用通过拼接。 
μScan的中心部件扫描模块(x/y方向样品扫描)可以和不同的传感器(Z方向测量)连用,如Confocal point sensor(CF)、Autofocus sensor(AF)、Chromatic white light sensor(CLA)、Holographic sensor(CP)等。目前主配的是连接CF4激光共聚焦传感器。 
CF4激光共聚焦传感器内,被照亮的小孔成像在被测量的表面,激光光束经由物镜迅速上下移动聚焦于待测物上,只有当焦平面和真实表面的点配对的时候,探测器才记录到一个表面信号。因此物镜得通过小的垂直步位移动,使信号通过位移传感器的位置移动被测出。根据特殊的内插技术,该系统的精度能达到10nm以下。 
应用 
?集成电路封装和表面贴装:快速获得封装翘曲变形、引线共面性、粗糙度、焊料的体积、引线轮廓。 
?厚膜混合电路:膜厚度的自动化测量 
?精密部件:测量精密五金配件、塑料、半导体材料的轮廓、粗糙度等 


技术参数 
1. 测量原理:非接触,激光共聚焦 
2. 扫描模块: 
2.1 XY方向测量范围50X50mm/100X100mm/150X100mm/200X200mm(可选),马达驱动 
2.2 XY方向平台分辨率0.5um 
2.3 Z方向位移范围100mm 
2.4 最大测量速度50mm/S. 
3. 传感器模块 
3.1 共聚焦传感器,激光光源1.5 μm spot size,1 kHz data rate 
3.2 Z方向分辨率0,02um 
3.3 XY方向分辨率1um,可连续一次扫描成像,最大范围达到200mmX200mm 
3.4 工作距离 4mm 
3.5 Z方向测量范围1mm 
4 系统配置 
4.1 计算机:高性能计算机控制系统; 
4.2 配有专业工作台, 尺寸L1000 x H750 x W800 (mm) 
4.3 可为CF传感器选配离轴摄像头(10X),最大视野8 x 6 mm2 
4.4 功能全面的软件 

4.5 数据分析:轮廓测量、宽度,高度,角度,半径、粗糙度等二维、三维数据分析 



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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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