德国Bruker公司面向世界范围提供基于等离子体技术的极紫外光，远紫外光和X射线产品。

极紫外光（XUV）的波长在1纳米到50纳米之间，包括了通常所说的软X射线和远紫外光（EUV）。

特征：

• 安装简单，操作方便；

• 自成独立系统，可通过锆窗与应用真空系统隔离；

• 参数安全设定，符合CE标准；

• 可持久工作，维护费用低（只需电源和氙气）。

参数：

• 2 J / pulse electrical input

• > 0.4 mJ / sr / pulse  EUV inband

• < 500 mm source diameter FWHM

• > 50 Hz Reprate

• Permanent operation 7 days / 24 h

• Guaranteed 100.000.000 pulses；
       Tested up to 230.000.000（> 1200 hours）

• Flexible head orientation

广泛用于：

• 纳米电子器件的实验室制作

• 纳米电子工业的光刻和工艺优化（如光刻胶优化）

• 作为比同步辐射更强烈的光源用于表面物理和表面化学分析研究

         极紫外光源系统                      极紫外曝光系统

     透射光栅摄谱仪（TGS）        放于真空系统中的能量检测仪Mini-E-Mon

极紫外反射率测试系统

   更多信息，请查看公司网站：http://www.germantech.com.cn/new/cplook.asp?id=353

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途