“狭缝涂布精密成膜装备系统”是一个高端先进制造业项目，其成膜技术可在玻璃、塑料、不锈钢等基体上精确涂布制备功能纳米、微米薄膜，在许多光电领域，如平板显示、触摸屏、薄膜太阳能电池、半导体元器件及封装、柔性及印制电子、智能玻璃等，有着非常广泛的应用。

从研发用150mm平台到6代线，为用户提供灵活多变的配置方案。不仅用于光学膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、扩散膜等)、OLED涂布等，还可以用于有机太阳能电池OPV和钙钛矿太阳能电池PVK等成卷基材的涂布，也应用于非连续基材如LCD玻璃基板光阻涂布。

狭缝涂布技术适用于各种涂布液，可广泛应用于不同基材表面的涂布，如玻璃，不锈钢和塑料基片涂布模具相对于基片精确地运动，并精确检测控制工艺流体及其涂布速度。

优势

可涂布不同粘度的各种材料

涂布厚度范围广泛:从20nm到150μm以上

很好的涂布一致性:通常优于±3%

效率高/材料利用率高:材料利用率可达95%

能够满足不同需求：从研发到小批量试制、大量生产

工艺具有高的可靠性和鲁棒性:良率可达到95%

适用于S2S和R2R加工模式

在一个工艺周期内可实现矩形阵列的涂布加工

过程参数

涂布间隙控制：高精准，动态控制涂布头高度 (z轴)

模具运动控制: 在涂布方向上(x轴)精确控制模具的运动轨迹(包括加速和减速参数) 

模具设计: 针对高一致性、化学兼容性、低充填容量  和 条状涂布进行模具设计制造

涂布控制: 涂布速率(稳态涂布) 和涂布轮廓 (前后边缘)的高精度数字化控制

控制软件: 所有配方参数，数据监控和反馈控制，数据采集分析。

应用领域

平板显示

LCD, OLED, Flexible, Touch Screen

LCD, OLED, 柔性显示, 触摸屏

太阳能光伏

PV including CIGS, CdTe, OPV and C-Si

固态照明

OLED lighting

高附加值玻璃

可调光智能玻璃, 博物馆用玻璃

半导体, 微机电系统, 无线射频识别, 聚合物电池, 和各种有机及打印电子器件

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途