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科特莱思科热阻蒸发镀膜系统Nano36

参考报价: 面议 型号: Nano36
品牌: 科特莱思科 产地: 美国
关注度: 7 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
供应商性质生产商产地类别进口
价格范围80万-100万
溅射气体氮气等样品台尺寸300*300
控制方式 自动样品仓尺寸400*400
靶材尺寸 300*300靶材材质 钨靶等
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LOAD LOCK Chamber (option)

LOAD LOCK预真空进样室(可选)

Chamber with front open door

前开门蒸发腔体

Cryopump and dry pump

冷凝泵和干泵

Multiple thermal evaporation sources   or OLED sources

多个热阻蒸发源或OLED低温蒸发源

Max. 6” substrate

6”基片

Substrate rotation

基片旋转

Substrate bias (option)

基片偏压(可选)

Ion source for substrate cleaning   (option)

离子源清洗基片(可选)

Substrate heating to 1000C (option)

基片加热1000度(可选)

Crystal rate monitor and film   thickness control

晶振沉积速率及膜厚控制

Manual or automatic system control

系统手动或自动控制

For deposition of metal, semiconductor   and insulation materials

可沉积金属、半导体和绝缘材料

For deposition of multi-layer or alloy   film

可沉积多层膜及合金薄膜


科特莱思科热阻蒸发镀膜系统Nano36信息由冠乾科技(上海)有限公司为您提供,如您想了解更多关于科特莱思科热阻蒸发镀膜系统Nano36报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。

注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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