快速检测，快速行动

微电子和半导体检查系统 DM3 XL

检测速度在微电子和半导体行业的检查、过程控制或缺陷和故障分析中至关重要。您发现缺陷的速度越快，您可以做出更快的反应。

大视野——视野增加30％

DM3 XL检测系统视野开阔，可让您的团队更快地发现缺陷并提高合格率。利用独特的宏观物镜增加的30％视野。

视野更大，效率更高

看到更多意味着更快地工作。为了快速扫描6英寸以下的大型组件，DM3 XL提供了独特的微距物镜。

放大倍数为0.7倍，它可以立即捕获35.7毫米的视场-比其他常规扫描物镜大30％。

有了宏观目标，缺陷就没有机会了：

提高产量

可靠地检测到晶圆边缘或中心的显影不足

检测不均匀的径向膜厚度

LED适用于所有对比方法

DM3 XL将LED照明用于所有对比方法。LED照明提供恒定的色温，并提供所有强度级别的真实彩色成像。 

在所有强度级别上逼真的彩色成像

免调整

无需更换灯泡-无需停机

可重复的结果

由于使用寿命长且功耗低，LED还具有巨大的成本节省潜力。

光学高性能

使用DM3 XL，您可以以可承受的价格享受卓越的光学效果。

用倾斜照明检查侧面，边缘或碎片：从不同角度照亮样品，这是可视化地形图的简便有效方法。

通过深入的暗场对比度检测样品下层中的微小划痕或小颗粒。

灵敏度和分辨率的急剧提高会让您震惊。

各种样品–可变台插入

无论您要检查哪种样品大小和样品类型，都可以从各种载物台中进行选择：

载物台尺寸：150毫米x 150毫米

舞台插件：金属插件，晶圆支架或掩模支架

快速粗台或精台定位

舒适直观地工作

彩色编码膜片助手（CCDA）简化了分辨率，对比度和景深的基本设置，有助于加快工作速度并减少操作错误。

简单直观的功能使您的团队可以更快地提供可靠的结果。

借助易于触及的控件，可在切换对比度或照明时将手放在显微镜上，将眼睛放在样品上

用右手轻松操作光强度控制器

使用可变的ErgoTubes和聚焦旋钮将显微镜调整到不同的身高

微电子和半导体检查系统 DM3 XL信息由青岛澳信仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于微电子和半导体检查系统 DM3 XL报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途