SEM3200扫描电镜 扫描电子显微镜

SEM3200扫描电子显微镜是一种高性能、通用型钨灯扫描电镜，应用范围广泛。它具有出色的成像质量，可在不同的视场范围内获取高分辨率的图像。具有大景深，并且富有立体感的成像效果。此外，它还具有丰富的扩展性，可以在显微成像的世界中进行探索。该扫描电镜支持SE、BSE、EDS、EBSD等光学导航，能够快速定位目标样品和感兴趣区域。同时，它还具有大图拼接功能，可以实现全自动的采图和拼接，展示超大视野画面。另外，它还支持图像混合成像（SE+BSE），可以在一个图像中观察到样品的成分和表面信息。SEM3200还具有双阳极结构设计，提升了低电压下的分辨率和成像质量。此外，它还支持低真空模式，能够在低真空下提供样品表面的细节和形貌，并且无需镀膜即可对不导电样品进行直接观察。同时，它还适用于大视场的生物样品，采用大视场观察，能够轻松获得整体形貌及结构细节，并进行跨尺度分析。该扫描电镜还具有导航和防碰撞功能，可以通过手势快捷导航进行操作，同时采取多维度的防碰撞方案以避免碰撞损伤。该产品还具有智能辅助消像散、自动聚焦、自动消像散、自动亮度对比度等功能，并且支持一键切换SE和BSE的混合成像。此外，它还具有丰富的拓展性，可以进行微区成分分析。SEM3200还支持多种信息的同时成像，拥有丰富的扩展性。其接口丰富，除了支持常规的二次电子探测器、背散射电子探测器、X射线能谱仪外，还预留了诸多接口，如电子背散射衍射、阴极射线等探测器都可以在SEM3200上进行集成。此外，该扫描电镜还支持单通道图像和成分像的同时成像，还具有电子背散射衍射功能，可以进行晶体取向标定以及晶粒度大小等分析。

扫描电镜应用案例

普通芯片-1
普通芯片-2
负极-碳
负极-碳包硅
正极-钴酸锂
正极-锰酸锂
太阳能电池-1
太阳能电池-2
高分子泡沫催化剂-MOF材料
2A12铝合金析出相
Mg-Zn合金化合物层
不锈钢-黄铜焊接件
钛合金基体组织
合金断口脆性+韧性韧性断口
钢铁夹杂物BSE
钢铁夹杂物SE
硅藻-1
硅藻-2
鸡葡萄球菌-1
鸡葡萄球菌-2
大米糯米淀粉颗粒-1
糯米淀粉颗粒-2
受潮盐颗粒
粉体-钛酸钡
粉体-硫酸镁
粉体-氧化铝
过滤功能材料
岩石纳米材料-二氧化硅微球
SiC陶瓷BSE
SiC陶瓷SE
陶瓷复合材料

产品参数

型号SEM3200ASEM3200

电子光学系统

电子枪类型预对中型发叉式钨灯丝电子枪（灯丝电流3档可调，可显示灯丝更换时间）
分辨率高真空3nm@30kV（SE）4nm@30kV（BSE）8nm@3kV（SE） *低真空3nm@30kV（SE）
放大倍率1-300,000x（底片倍率）1-1000,000x（屏幕倍率）
加速电压0.2kV～30kV
探针电流≥1.2μA，可实时显示

成像系统探测器二次电子探测器（ETD）*背散射电子探测器、*低真空二次电子探测器、*能谱仪EDS等
图像保存格式TIFF、JPG、BMP、PNG

真空系统

真空模式高真空优于5×10-4 Pa*低真空5～1000Pa

控制方式全自动控制
涡轮分子泵≥240L/S
机械泵200L/min（50Hz）

样品室摄像头光学导航
样品仓内监控
样品台配置三轴自动*五轴自动
行程X:120mmY:115mmZ:50mm/R:360°/T:-10°～+90°

能谱仪

能谱仪探测器分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积≥30mm2，晶体面积≥50mm2，高分子超薄窗设计，无需液氮冷却，仅消耗电能
能谱仪能量分辨率MnKa保证优于129eV
元素分析范围B5～Cf98

软件语言中文
操作系统Windows

导航光学导航、手势快捷导航、可自动叠加电镜图片

自动功能自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散

特色功能智能辅助消像散、*大图拼接（选配软件）

安装要求房间长≥3000mm，宽≥4000mm，高≥2300mm
温度20℃～25℃
湿度≤50%

电气参数

电源AC220V(±10%)，50Hz，2kVA

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途