Park帕克原子力显微镜
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Park NX-TSH专为超大纳米平板显示器测量而设计的自动化原子力显微镜（AFM）系统
发布时间：
2022-04-24 11:21
来源：
Park帕克原子力显微镜
| 领域： | 电子/电器/半导体,纳米材料 | ||
| 样品： | 超大纳米平板显示器 | 项目： | 表面测量 |
| 方案文件名 | 下载 |
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Park NX-TSH专为超大纳米平板显示器测量而设计的自动化原子力显微镜（AFM）系统 |
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XY扫描器由对称的二维挠曲和高强度压电叠层组成，它最小化的面外运动能提供高度的正交扫描，用最快的响应来完成纳米尺度上精确样品扫描。XY扫描器的每个方向是都装有两个对称的低噪声位置传感器，在最大的扫描范围及大样品扫描时能发挥高效的正交性。
