帕克 NX-3DM 原子力显微镜

Automated Industrial AFM for High-Resolution 3D Metrology

Park Systems推出革命性的XE-3DM全自动原子力显微镜系统，专为垂悬轮廓、高分辨率侧壁成像和临界角的测量而设计。借助独有的XY轴和Z轴独立扫描系统和倾斜式Z轴扫描器，XE-3DM成功克服精确侧壁分析中的法向和喇叭形头所带来的挑战。在True Non-Contact™模式下，XE-3DM可实现带有高长宽比尖端的柔软光刻胶的无损测量。

Park NX-3DM

Accuracy Like Never Before

随着半导体越变越小，设计如今需要做到纳米级，但是传统的测量工具无法满足纳米级的设计和制造所要求的精确度。面对这一行业测量所带来的挑战，Park Systems取得了众多技术突破，如串扰消除(XE)，其可以实现无伪影和无损成像；全新的3D原子力显微镜，让侧壁和侧凹特征的高分辨率成像成为可能。

Throughput Like Never Before

受限于低通量，纳米级设计无法用于生产质量控制中，但原子力显微镜让这一切成为可能。随着Park Systems发布革命性的高通量解决方案，原子力显微镜也得以进入自动化线上制造领域。这其中包括创新的磁性探针更换功能，成功率高达99%，高于传统的真空技术。此外，流程和通量优化需要每位客户的积极配合，提供完整的原始数据。。

Cost-Effectiveness Like Never Before

纳米测量的精确性和高通量需要搭配高成本效益的解决方案，才能够从研究领域扩展到实际生产应用中。面对这一成本挑战，Park Systems带来了工业级的原子力显微镜解决方案，让自动化测量更快、更高效，让探针更耐久！我们放弃了慢速又昂贵的扫描电子显微镜，转而采用高效、自动化且价格实惠的3D原子力显微镜，进一步降低线上工业制造的测量成本。现如今，制造商需要3D信息来表现沟槽轮廓和侧壁变形异特征，从而准确找到新设计中的缺陷。模块化原子力显微镜平台实现了快速的软硬件更换，使得升级更为划算，从而不断优化复杂并且苛刻的生产质量控制测量。此外，我们的原子力显微镜探针使用寿命延长至少2倍，进一步减少购置成本。传统的原子力显微镜采用轻敲式扫描，这让探针更易磨损，而我们的True Non-Contact™模式能够有效地保护探针，延长其使用寿命。

High Resolution Access to Undercut and Sidewall

CD Measurements of Undercut & Overhang

XE-3DM的倾斜式Z轴扫描器设计让探针能够扫描到光刻胶的侧壁和侧凹结构。

• 独有的XY轴和Z轴解耦扫描系统和倾斜式Z轴扫描器

• Z轴扫描器可在 -19到+19度和-38到+38度之间随意摆动

• 法向高长宽比的探针带来高分辨率成像

• XY轴扫描范围可达100 μm x 100 μm

• 高强度Z轴扫描器带来最大25 μm的Z轴扫描范围

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Complete 3D Metrology of Sidewall

High-Resolution Sidewall Roughness

借助超锋利的探针尖端，XE-3DM的倾斜式Z轴扫描器可接近侧壁，带来高分辨率的侧壁粗糙度细节。

• 侧壁粗糙度测量

• 精确的侧壁角度测量

• 垂直侧壁的临界尺寸测量

Non-destructive CD and Sidewall Measurements by True Non-Contact™ Mode

CD Measurements of Photoresist Trench

独有的True Non-Contact模式能够将线上无损测量小至45 nm的细节。

• 业内最小的细节线上测量

• 柔软光刻胶无损测量

• 探针磨损更少，让高质量和高分辨率成像效果更加持久

• 无需轻敲式成像中的参数依赖结果

High-Throughput Inline Automation

Automatic Tip Exchange (ATX)

借助自动探针更换功能，自动测量程序能够做到无缝衔接。该系统会参考图形测量数据，自动校正悬臂的位置和优化测量设定。创新的磁性探针更换功能，成功率高达99%，远远高于传统的真空技术。

Automatic Wafer Handler (EFEM or FOUP)

您可以在XE-3DM中加装自动晶片装卸器(EFEM或FOUP或其他)。高精度无损晶片装卸机械臂能够百分百保证XE-3DM用户享受到快速且稳定的自动化晶片测量服务。

Ionization System

XE-3DM可搭载离子化系统，能够有效消除样品的静电电荷。并且系统随时可生产位置正离子和负离子之间的理想平衡，从而可以稳定地离子化带电物体，且不会污染周边区域。它也可以消除样品处理过程中意外生成的静电电荷。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途