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Park NX-Wafer产品彩页介绍
NX-Wafer原子力显微镜提供精准的形貌量測,可用來监控化学机械研磨平面化制程,检测因材料差异所造成异质材料间的凹陷(dishing)效应与浸蚀(erosion)效应
NX-Wafer同時具备原子力形貌量测能力,可用以检测毫米橫向尺度范围,奈米級纵向尺度的高度变化
帕克 NX-3DM 原子力显微镜 光刻胶沟槽临界尺寸测量
型号:Park NX-3DM
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型号:Park NX-PTR
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型号:Park NX-Wafer
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帕克 NX-Wafer 原子力显微镜 线宽测量
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