Park帕克原子力显微镜
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Park NX-Wafer产品彩页介绍
发布时间：
2019-11-11 15:55
来源：Park帕克原子力显微镜
| 领域： | 电子/电器/半导体,纳米材料,高分子材料 | ||
| 资料类型： | 样本 | ||
| 资料文件名 | 下载 |
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Park NX-Wafer产品彩页介绍 |
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NX-Wafer原子力显微镜提供精准的形貌量測，可用來监控化学机械研磨平面化制程，检测因材料差异所造成异质材料间的凹陷(dishing)效应与浸蚀(erosion)效应
NX-Wafer同時具备原子力形貌量测能力，可用以检测毫米橫向尺度范围，奈米級纵向尺度的高度变化
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