Park帕克原子力显微镜

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Park NX20产品彩页介绍

发布时间: 2019-11-11 15:31 来源:Park帕克原子力显微镜

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NX20 low.png

Park NX20

缺陷分析的最佳选择

 

作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器,其主要目的是对样品进行缺陷检测。

而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20,这款全球最精密

的大型样品原子力显微镜,凭借着出色的数据准确性,在半导体和超平样品行

业中大受赞扬。

 

最强大全面的分析功能

具备独一无二的功能,可快速帮助客户找到产品失效的原因,并帮助

客户制定出更多具有创意的解决方案。无与伦比的精密度为您带来高分辨率数

据,让您能够更加专注于工作。与此同时,真正非接触扫描模式让探针尖端更耐用,无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。

 

 

即便是第一次接触原子显微镜的工程师也易于操作

 

ParkNX20拥有业界最为便捷的设计和自动界面,让你在使用时无需花费大量

的时间和精力,也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点,您

可以更加专注于解决更为重大的问题,并为客户提供及时且富有洞察力的失效

分析报告。

NX20 low 2.png

Park Nx 20

创新工作的创新特征


为FA和研究实验室提供精准的形貌测量解决方案


缺陷检查成像和分析

高分辨率电子扫描模式

对样品和基片进行表面粗糙度测量

样品侧壁三维结构测量


低噪音Z探测器可精确测量AFM表面形貌


非接触模式,降低针尖磨损,减少换探针时间

非接触模式下的快速缺陷成像

业内领先的三维结构测量的解耦XY扫瞄系统

通过使用热匹配的组件,尽量减少系统漂移和迟滞现象


低噪声Z探测器可精确测量AFM表面形貌


业界领先的低噪声Z检测器测量样品表面形貌

没有过沿过冲和压电蠕变误差的真正样品表面形貌

即使是高速扫描也可以保持精确的表面高度

行业领先的前向和后向扫描间隙横向漂移小于0.15%


用真正的非接触扫描方式节省成本


在一般用途和缺陷成像中,具有普通扫描模式10倍或更长的针尖使用寿命

减少针尖的尖端摩损

最真实的再现样品微观三维形貌,减少样品在扫描过程中的损坏或变形


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