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卷对卷柔性薄膜沉积设备 MVS

参考报价: 5万-10万 RMB(人民币) 型号: Reel to Reel Cassette System
品牌: MVSystems 产地: 美国
关注度: 24 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
供应商性质总代理产地类别进口
价格范围5万-10万
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卷对卷柔性薄膜沉积设备

Cassette houses flexible material


卷筒用于装载柔性衬底材料

Cassette transported from one process chamber to another via a robotic handler

制备薄膜时,卷筒可由真空机器手从一个腔室输送至另一个腔室

Advantages 此沉积系统的优点

- Eliminates cross-contamination 在制备多层膜器件时消除了交互掺杂影响

- Flexibility to adjust parameters on any part of the process. 制备薄膜时,能灵活控制各种运转沉积参数

- Down time reduced, i.e. each chamber can be serviced independently 因每个腔室可单独维护,减少了停机非运转时间

Reel to Reel Cassette Cluster tools

Cluster tool w/ 8 port locations

具有8个腔室的团簇型沉积系统

15cm and 30cm webwidth

柔性衬底的宽度可从15cm至30cm

Computer controlled

可完全由电脑程序控制操作运行

PECVD, HWCVD and Sputter capability

制备方式包括等离子体和热丝化学气相沉积,及溅射

(US patent #6,258,408B1)

(本产品获美国专利#6,258,408B1)


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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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