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上海瞬渺光电技术有限公司
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| 参考报价： | ￥5万-10万 RMB（人民币） | 型号： | Cluster |
| 品牌： | MVSystems | 产地： | 美国 |
| 关注度： | 24 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 | |
| 价格范围 | ￥5万-10万 |
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R&D Cluster tools 研发用团簇PECVD PVD
R&D Cluster tools
Cluster tool w/ 8 port locations
具有8个腔室的团簇型沉积系统
30x40cm substrate
衬底尺寸为30x40cm
Computer controlled
可完全由电脑程序控制操作运行
?PECVD, HWCVD and Sputter capability 制备方式包括等离子体和热丝化学气相沉积，及溅射。
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
