上海瞬渺与ENERGETIQ签定正式代理协议

上海瞬渺与ENERGETIQ签定正式代理协议
2013-05-17 15:56:28   来源： 瞬渺光电   

技术介绍：电极激光驱动光源技术Energetiq自主研发的激光驱动光源（LDLS）技术使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度，以产生高效的宽频谱光。使用传统的方法，如弧光灯，氘灯，当使用电极连接电源和等离子体时...

技术介绍：
电极激光驱动光源技术
Energetiq自主研发的激光驱动光源（LDLS）技术使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度，以产生高效的宽频谱光。使用传统的方法，如弧光灯，氘灯，当使用电极连接电源和等离子体时，灯的亮度，紫外能量，使用寿命非常有限。无电极的LDLS技术可以产生少量，高亮度的等离子体，以获取高效的光源，光谱范围包括从深紫外到包括可见光及以上的谱线，并且延长了灯的使用寿命。
․革命性的新技术---连续激光等离子放电
․宽谱线，高亮度
  从170nm到包括可见光区至1000nm以上。
 
无电极Z箍缩等离子体技术
已知的Z箍缩等离子体技术在产生EUV和SXR光时，性能优越。然而，所以目前使用的方法都需要使用电极传导高的放电电流。要产生EUV光，电极需要接触极高温度的等离子体（约500，000℃），此做法会导致电极腐蚀，开裂，甚至熔化。对于连接到光源的任何光学系统，电极残片成为重要的污染源。
Energetiq独特的工艺技术也是基于Z箍缩等离子体技术，但在该过程中避免使用电极，而用诱导方式将电流连入等离子体。Energetiq光源的等离子体被磁性束缚在光墙内，达到热负荷极小化，也极大减少污染残片。
․独特的无电极，无电极电流设计
  --无电极，--无电极残片
․等离子体被磁性束缚，以远离光源组件
--进一步减少残片污染
․磁束缚提供极好的空间稳定性
․低成本，结构简单