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敏树脂又称“光刻胶”,是一种在受光线(紫外线)照射时其自身特性会发生变化的材料。光刻胶具有分辨率高、微加工以及在短时间内形成耐蚀刻薄膜能力等特征。这种材料广泛应......[全文]
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