产品介绍：
•产品名称：多功能平台聚焦扫描微区Ｘ射线光电子能谱仪
•产品型号：PHI15000VersaProbe
•品    牌：日美纳米表面分析仪器公司(U-P)
•产    地：日本
 
产品参数：
•仪器主机功能，单色化Al Kα ；
•大面积XPS ；
•Ag3d5/2，1400umx100um, FWHM≤1.00eV时，灵敏度≥1,000,000 cps；
•Ag3d5/2，1400umx100um, FWHM≤0.60eV时，灵敏度≥250,000 cps；
•小面积XPS，zei小分析面积≤10μm ，性能指标应达到：
•Ag3d5/2，20μm，FWHM≤0.60eV时，灵敏度≥15,000 cps；
•Ag3d5/2，10μm，FWHM≤0.60eV时，灵敏度≥4,000 cps；
•Ag3d5/2，10μm，FWHM≤1.00eV时，灵敏度≥12,000 cps；
•Typical value for 100um and 20um at 75degree and 45degree ；
•75degree ；
•Ag3d5/2，20μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥99kcps ；
•Ag3d5/2，100μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥47kcps ；
•45degree ；
•Ag3d5/2，20μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥50kcps ；
•Ag3d5/2，100μm , FWHM≤0.90eV时,灵敏度≥27kcps ；
•成像XPS ；
•单色化X射线扫描成像，zei佳空间分辨率≤10 μm；
•深度剖析XPS ；
•聚焦扫描氩离子枪，当working distance为30 mm时.聚焦氩离子束斑≤150μm，当
working distance为60mm时候，聚焦氩离子束斑≤300μm束流密度≥0.5 mA/cm2；
 
产品特点：
•世界上独一无二扫描微聚焦X-射线source；
•世界上独一无二扫描微聚焦X-射线产生的2次电子成像SXI像和XPS成像，可以帮助客户找到肉眼看不见的微观缺陷。；
•可以给出10um XPS sensitivity.其他公司不能。20um 的XPS sensitivity是其他公司同类产品的1倍以上；

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途