高低温真空探针台

概述

M5VC真空探针台可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量，真空腔一体成型，具有设计合理，真空度稳定，温控精度及机械精度高等特点；根据测试温度范围不同，可单选高温或低温等相应组件，温度可达到1000℃，低温部分采用液氮或液氦冷却组件，温度可低至77K/10K，；真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-3Torr或10-6Tor。

应用

可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

技术参数

显微镜配置               显微镜/视频显微镜

显微镜                      放大倍数50倍

视频成像配置            CCD成像系统，放大倍数300倍

样品台尺寸80mm     漏电电流<10fA

真空室真空度            10-3Torr (10-6Torr或更高可选)

探针座配置               x/y/z行程40mm 精度 1μm

探针配置                  尺寸 0.5X30mm 材质 金

温度范围                  77K-570K  液氮制冷 10K-570K  液氦制冷     温度可到1000K

观察窗尺寸              100mm

真空系统                  机械泵或分子泵

接口配置                  三同轴

测试源表                  连接各类测试源表，并可进行相应的软件二次开发，加大系统整合性及测试稳定性

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途