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反复性、准确性、重现性极佳

消振台一体型l

安装多镜头

产品概要

    三维表面轮廓仪利用光的干扰，可迅速，准确，并高检测性的对1nm~10mm高度的模型的表面想象进行纳米单位测量。相比接触性方式，不会对测量物造成任何损伤，相比共焦方式，高解像力无关倍率均可得到统一结果，与AFM相比，可在宽测量领域内快速测量。

高度解像力0.1nm

任何倍率下，解像力均统一

测量纳米等级

测量高速，高精密度，高解像力表现形象

可测量透明/半透明/不透明登各种样品

无需非破坏，预加工程序即可轻松测量

反复性，准确性，重现性极佳

主要特征

测量高度，长度，段差，线，圆，弧，角度，款，宽，距离

面粗糙度，线粗糙度，波形

测量划痕，磨损，缺陷

测量面积，大小

测试原理

利用光的干涉信号，将表面的形状到1nm~10cm为止，没有材料的破损，从相机中显示的全部领域，正确，检测到高强度为单位。

干涉信号是在任意义的基准点中，同时出现的光在移动到不同的场景（optical path），在移动后合上的时候，用两个场景（optical path）的物理现象，是一种明亮的明亮的形态，这是干涉信号。

精密的Piezo扫描

高度以Piezo扫描通过Capacity Sensor进行Closed Loop

整体扫描范围的0.1%呈线性

通过1次校准，2次校准，提高数据可靠性

Scan范围

Scan范围：100um，150um, 300um, 500um, 10mm

变焦镜头

变焦镜头: 0.33x，0.55x， 0.75x， 1.0x，1.5x， 2.0x

物镜

 2.5x，5x, 10x， 20x， 50x， 100x

干涉镜头

干涉镜头(Michelson型) : 0.3x, 2.5x，5x

干涉镜头(Mirau型): 10x， 20x， 50x， 100x

Multi滤光镜

多种滤光镜选择

调整干涉镜头

随温度变化的干涉纹样调整

操作台

真空操作台，选择操作台，Aligner操作台

三维表面形貌仪 SURFIEW500信息由亿诚恒达科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于三维表面形貌仪 SURFIEW500报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途