手动椭圆偏振测厚仪

EX1手动椭圆偏振测厚仪是基于消光法（或称“零椭偏”）椭偏测量原理，针对纳米薄膜厚度测量领域推出的一款手动教学仪器。

EX1 仪器适用于纳米薄膜的厚度测量、以及纳米薄膜的厚度和折射率测量。

EX1仪器还可用于测量块状材料（如，金属、半导体、介质）的折射率n和消光系数k。

特点

• 消光法椭偏测量原理

  仪器采用消光法椭偏测量原理，易于操作者理解和掌握椭偏测量基本原理和过程。

• 方便的样品水平放置方式

  采用水平放置样品，方便样品取放。

• 精巧的一体化结构

  集成一体化设计，精巧的仪器外形，方便地显示仪器测量过程中的光强信息。

• 高准确性的激光光源

  采用激光作为探测光波，测量波长准确度高。

• 实用的样品测量功能

  可测量纳米薄膜的膜厚和折射率、块状材料的复折射率。

• 方便的仪器手动操作

      手动完成测量，仪器软件辅助进行测量数据的分析。

• 可扩展的仪器功能

  利用本仪器，可通过适当扩展，完成多项偏振测量实验，如马吕斯定律实验、旋光测量实、旋光等。

应用

EX1适合于教学领域，适用于单层纳米薄膜的薄膜厚度测量，也可用于测量块状材料的折射率n和消光系数k。

EX1可测量的样品涉及微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄膜、生命科学、化学、电化学、磁质存储、平板显示、聚合物及金属表面处理等领域。

技术指标

 注：(1)测量重复性：是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量30次所计算的标准差。

性能保证

• ISO9001国际质量体系认证下的仪器质量保证

• 专业的椭偏测量原理课程讲授

• 专业的仪器使用培训

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途