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自动椭圆偏振测厚仪

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国家高新技术企业

9001质量认证

参考报价: 面议 型号: EX3
品牌: 量拓科技 产地: 暂无
关注度: 76 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?

    EX3自动椭圆偏振测厚仪是基于消光法(或称“零椭偏”)测量原理,针对纳米薄膜厚度测量领域推出的一款自动测量型教学仪器。与EM22仪器相比,该仪器采用半导体激光器作为光源,稳定性好,体积更小。

    EX3仪器适用于纳米薄膜的厚度测量,以及纳米薄膜的厚度和折射率同时测量。

    EX3仪器还可用于同时测量块状材料(如,金属、半导体、介质)的折射率n和消光系数k。

特点:

  • 经典消光法椭偏测量原理

    仪器采用消光法椭偏测量原理,易于操作者理解和掌握椭偏测量基本原理和过程。

  • 方便安全的样品水平放置方式

    采用水平放置样品的方式,方便样品的取放。

  • 紧凑的一体化结构

    集成一体化设计,简洁的仪器外形通过USB接口与计算机相连,方便仪器使用。

  • 高稳定性光源

    采用半导体激光器作为探测光的光源,稳定性高,噪声低。

  • 丰富实用的样品测量功能

    可测量纳米薄膜的膜厚和折射率、块状材料的复折射率等。

  • 便捷的自动化操作

    仪器软件可自动完成样品测量,并可进行方便的测量数据分析、仪器校准等操作。

  • 安全的用户使用权限管理

    软件中设置了用户使用权限(包括:管理员、操作者等模式),便于仪器管理和使用。

  • 可扩展的仪器功能

    利用本仪器,可通过适当扩展,完成多项偏振测量实验,如马吕斯定律实验、旋光测量实、旋光等。

应用领域:

EX3适合于教学中单层纳米薄膜的薄膜厚度测量,也可用于测量块状材料的折射率n和消光系数k。

EX3可测量的样品涉及微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄膜、生命科学、化学、电化学、磁质存储、平板显示、聚合物及金属表面处理等领域。

技术指标:

项目

技术指标

仪器型号

EX3

测量方式

自动测量

样品放置方式

水平放置

光源

半导体激光器,波长635nm

膜厚测量重复性*

0.5nm (对于Si基底上100nm的SiO2膜层)

膜厚范围

透明薄膜:1-4000nm

吸收薄膜则与材料性质相关

折射率范围

1.3 – 10

探测光束直径

Φ2-3mm

入射角度

30°-90°,精度0.05°

偏振器方位角读数范围

0-360°

偏振器步进角

0.014°

样品方位调整

Z轴高度调节:16mm

二维俯仰调节:±

允许样品尺寸

圆形样品直径Φ120mm,矩形样品可达120mm x 160mm

配套软件

* 用户权限设置

* 多种测量模式选择

* 多个测量项目选择

* 方便的数据分析、计算、输入输出

外形尺寸

(入射角度70°时)450*375*260mm

仪器重量(净重)

15Kg

 注:(1)测量重复性:是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量30次的标准差。

性能保证:

  • ISO9001国际质量体系下的仪器质量保证

  • 专业的仪器使用培训

  • 专业的椭偏测量原理课程


自动椭圆偏振测厚仪信息由北京量拓科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于自动椭圆偏振测厚仪报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。

注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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