应用：attocube激光干涉仪无损探测轴承误差

attocube 激光干涉仪无损探测轴承误差旋转物体的运动误差分析是高精度机械工程领域的一个主要兴趣之一。如果是高速旋转的转子，甚至1 纳米的误差就会产生不想要的振动与运动误差。因此，纳米精度的运动误差监测是机械工程领域前沿的重要研究课题。一个主要的难题是：如何减小运动误差？

为了减小误差，首先需要测量误差。

德国attocube 公司的激光干涉仪可以提供一个无损，紧凑并且一插即用的解决方案。通常的线性位移测量需要一个平整的表面，而旋转运动的时候，遇到的是一个曲面（右图上）。attocube激光干涉仪测量的是一个直径为10mm 的电动转子。由于attocube 激光干涉仪的探头具有较大的容忍角度，激光探头很容易完成了校准并开始进行测量。转子转速为2160 转每秒，两个激光探头对转子的运动误差进行了测量。右图下显示的为测量结果，红色实线为平均位置，而虚线显示了误差为5 微米的两个圆环。黑色实现为实际测量数据。

德国attocube 公司的激光干涉仪软件使用界面友好，可提供亚纳米级别的运动误差校正方案。即使是新用户，对于其激光干涉仪的使用也会很快熟悉。