KLA-Tencor Profiler探针式台阶仪-台阶仪精度

仪器简介：

应用： 
 ◆薄膜厚度测量；
 ◆样品表面形貌测量； 
 ◆薄膜应力测量； 
 ◆样品表面粗糙度/波纹度测量； 
 ◆样品表面三维形貌测量等。

技术参数：

KLA-Tencor先进的探针式台阶仪，可精确测量纳米级至2毫米台阶高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力，集高测量精度、多功能性和经济性于一体，是生产线及材料分析等应用领域的理想选择。因其具有6.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率,是目前商业化仪器里（经市场验证）zei高精度的台阶仪产品。

主要特点：

◆Alpha-Step IQ采用天然金刚石作为探头，经久耐用。探针更换简便、快速，软件具有保护测针以免发生损坏功能； 
 ◆探针扫描是双向的，即可以从左向右，又可以从右向左；
 ◆无论何时只要测针下伸的时间超过 60 秒，但仍然没有开始扫描，测针将自动升起； 
 ◆当测针达到其测量范围的上限时，测针自动缩回，扫描终止；（备注：当测针达到其上限时，屏幕上的迹线停止上升，而变为水平）；
 ◆为了安全起见，可以用程序设置升降器，使其仅可以降低到一个预设的限制；
 ◆可为用户提供中文操作界面，可以提供官方中文操作手册；
 ◆软件界面友好，简单易学，功能强大。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途