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KLA-Tencor Candela CS10/CS20 表面缺陷检测设备

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参考报价: 面议 型号: 暂无
品牌: 暂无 产地: 暂无
关注度: 497 信息完整度:
样本: 暂无样本 典型用户: 暂无
仪器简介:

应用: 
◆ 硅片、化合物、半导体及透明材质产品表面缺陷的检查分析。



技术参数:

KLA-Tencor Candela CS10表面缺陷检测设备是针对半导体行业的表面缺陷的检查分析仪器。该设备利用激光扫描样品的整个表面,通过4个频道(散射光频道、反射光频道、相移频道及Z频道)的探测器所收集到的信号,快速的将缺陷(包括微粒、划伤、坑点、污染、痕迹等)进行分类,统计每一种缺陷的数量并且量测出相应的缺陷尺寸,zei后给出整个表面的缺陷分布图以及检测报告。根据预先设定的标准,可以给出检测样品合格与否的判断。



主要特点:

◆ 标准夹具从2英寸到8英寸的样品,也可按需订制; 
◆ 可用于透明的材料的表面缺陷检测; 
◆ 可侦测的缺陷类型:颗粒,划伤,突起,凹坑,水渍等; 
◆ 手动(CS10)和自动传输模式(CS20); 
◆ 双激光系统; 
◆ 小颗粒的高灵敏度(80nm); 
◆ 强大的自动缺陷分类、统计分布和判别软件。缺陷分布图以及检测报告内的每一个缺陷都有4个频道拍到的照片储存在设备内部,这些照片可以辅助技术人员分析缺陷的成因及进行相关验证。可同时进行粗糙度、平坦度及膜厚均匀度的量测。其缺陷监测功能可以应用到不同的制程; 
◆ 颗粒检测-几乎应用于所有制程的监测; 
◆ 液体残留-应用于清洗及研磨; 
◆ 表面粗糙度、平坦度- 应用于研磨抛光; 
◆ 膜厚均匀度-应用镀膜工艺。 
◆ 内部的过滤器可以保证内部的洁净环境为10级,防止内部污染的同时该仪器还能长期保持稳定准确。拥有秀的售后服务保障体系。

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