400-6699-117转1000
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参考报价: | 面议 | 型号: | RVX1000/Veraflex |
品牌: | Revera | 产地: | 美国 |
关注度: | 21 | 信息完整度: | |
样本: | 典型用户: | 暂无 |
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仪器简介:
应用:
◆厚度:量测膜厚度;
◆成分:量测一种材料中原子的类型和数量;
◆分布:量测一种元素在膜中的浓度;
◆结合状态:量测原子怎样互相结合形成一种材料;
◆分界面状态:量测两种膜之间层的状态;
◆表面情况:量测表面层的纯度。
技术参数:
VeraFlex是一个广泛适用、可以量测product wafer和对材料没有破坏性的量测系统。它的出现满足了对先进材料进行量测的要求。VeraFlex有能力对超薄膜和原子水平的材料进行量测,以满足下一代半导体的生产要求。
在生产中,VeraFlex可以监控、量测和控制精密的材料制程。
对新的应用的探索将满足客户对65nm、45nm以及更精密制程的需求。
主要特点:
◆结合状态:量测原子怎样互相结合形成一种材料;
◆分界面状态:量测两种膜之间层的状态;
◆表面情况:量测表面层的纯度;
◆Small spot size:直接量测pattern wafer;
◆zMAX:核心元素的质心的量测。
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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途