满足越来越严苛的电子气体质量要求，从源头提升半导体生产工艺

从去年开始“缺芯”一直困扰着众多工业行业的发展，尤其是汽车行业受到的干扰更为突出。全球芯片代工厂都在满产运转，各大半导体供应商无不开足马力提升产量，扩展产能，提高未来市场话语权。而在半导体众多工艺过程中，集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的电子气体所扮演的角色也越发不能忽视。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。

随着电子消费品的升级换代，整个电子工业界对电子气体气源纯度，以及杜绝输送系统二次污染的要求越来越苛刻。基本上工业界对电子气体气相不纯物以及颗粒度污染提出的技术指标，直接与分析仪器技术进步带来的最低检测极限（LDL）相关联。

* 图片源自正版图片网站Unsplash

在实际生产过程中，半导体厂商发现随着工厂生产工艺的提升，由于对大宗气体检测手段的落后，已经无法提供更高杂质检出限（PPT级）的检测结果，导致产品良品率持续降低：虽然气体杂质检测结果正常，但是生产质量却频频出现问题。对于来自最终用户对于大宗气体质量的指责，气体供应商也认为有必要在大宗气体出厂之前就能够完成质量控制监测，尽早减少生产波动、设备故障带来产品质量问题，确保质量稳定，消除与用户的争议。

Thermo Scientific™ APIX dQ（APIX Quattro）超高纯电子气质谱分析仪

APIX dQ是赛默飞世尔科技与法国液化空气（Air Liquide）气体公司联合开发的新一代超高纯电子气质谱分析仪。APIX dQ采用了阳离子大气压离子化质谱仪（ API-MS）技术, 该技术被电子工业广泛用于检测超纯大宗气体中的众多污染物，如H₂0, He, CO, CO₂, O₂, CH₄, Kr 和 Xe 等。

相比于其他传统的、由多个独立的分析仪组成的分析仪系统，APIX dQ超高纯电子气质谱分析仪有着自身独特的优势：

·         测量下限低，可达到10ppt级； 

*注：X表示不分析

·         单台表能够同时分析多种杂质（见表1：APIX能够监测N₂中的杂质和测量下限）；

·         响应时间快，每个组分小于1秒钟；-分析N₂中众多杂质不会超过10秒钟；

·         运行成本低，维护量小（没有载气、助燃气等要求）；

·         配置简单，不需要预处理系统，样气直接进行分析；

·         真正的在线分析仪，直接在线标定；

·         全球超过100台套以上使用业绩，为众多电子厂商和大宗气体供应商在全球使用。

Thermo Scientific™ APIX dQ（APIX Quattro）超高纯电子气质谱分析仪作为核心检测手段，能够为不断高歌猛进的半导体工业，尤其是芯片制造领域提供可靠、准确，值得信赖的大宗电子气纯度和洁净度的在线连续检测。赛默飞四气体在线杂质检查方案，极大的提升了芯片的质量和良品率，为芯片国产化和半导体工业的发展提供了基础保障，将不断助力于国内数字化、智能化、5G和工业物联网进程。

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赛默飞世尔科技中国简介

赛默飞世尔科技进入中国发展已超过35年，在中国的总部设于上海，并在北京、广州、香港、成都、沈阳、西安、南京、武汉、昆明等地设立了分公司，员工人数约为5000名。我们的产品主要包括分析仪器、实验室设备、试剂、耗材和软件等，提供实验室综合解决方案，为各行各业的客户服务。

为了满足中国市场的需求，现有7家工厂分别在上海、北京、苏州和广州等地运营。我们在全国还设立了8个应用开发中心以及示范实验室，将世界级的前沿技术和产品带给中国客户，并提供应用开发与培训等多项服务；位于上海的中国创新中心，拥有100多位专业研究人员和工程师及70多项专利。创新中心专注于针对垂直市场的产品研究和开发，结合中国市场的需求和国外先进技术，研发适合中国的技术和产品；我们拥有遍布全国的维修服务网点和特别成立的中国技术培训团队，在全国有超过2600名专业人员直接为客户提供服务。

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