ICP-MS 测定氨气吸收液中的杂质元素

　　高纯氨气的应用领域LED 领域，为蓝绿光GaN LEDs 外延工艺（MOCVD）中生成氮化镓基层提供氮的来源。MOCVD 是LED 产业发展的关键支撑，也是氨气应用的主要工艺。在蓝绿光GaN LEDs 外延工艺（MOCVD）中要生成氮化镓基层，需要大量高纯氨气来提供氮的来源。纯度要求在7N（99.99999%）以上。

　　另外一个应用领域光伏太阳能，硅片清洗、在CVD 过程中生产氮化硅薄膜。太阳能作为一种清洁、高效的可再生能源，能广泛应用于家庭发电系统和大型商业光伏项目等诸多领域。高纯氨气为在在CVD 过程中生产氮化硅薄膜提供氮源，是光伏太阳能行业必不可少的重要电子气体。

　　目前世界上很多的半导体生产都在中国大陆本土，相对应的一些半导体产业的下游企业，生产高纯氨气供应给上游企业。重金属含量是是其中的一个重要指标。一般测定主要是把氨气通过去离子水吸附，测定吸附后去离子水中的重金属。由于要求氨气纯度很高，而且氨气不能够无限被去离子水吸附。去离子水吸附氨气最高浓度20%，所以对测量仪器具有很高的灵敏度要求。电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定微量元素具有操作简单、干扰少等优点, 而且可多元素同时测定、灵敏度高、动态范围宽, 可测定氨水中的重金属元素。ICP-MS 法可进行多元素同时分析, 具有快速、准确等特点。下面介绍ICP-MS 测定氨水中的重金属杂质元素。